SEM掃描電鏡一共有幾個(gè)工作模式
日期:2025-03-18 11:14:14 瀏覽次數(shù):5
掃描電鏡的工作模式主要根據(jù)其檢測(cè)的信號(hào)類型和成像原理進(jìn)行分類,以下是常見的幾種核心工作模式:
1. 二次電子成像模式
原理:檢測(cè)被電子束激發(fā)的二次電子(能量<50 eV),信號(hào)強(qiáng)度對(duì)樣品表面形貌敏感。
特點(diǎn):
高分辨率(可達(dá)納米級(jí)),立體感和細(xì)節(jié)豐富。
對(duì)表面敏感,反映形貌起伏和邊緣。
應(yīng)用場(chǎng)景:材料表面形貌觀察、斷口分析、生物樣品微觀結(jié)構(gòu)。
2. 背散射電子成像模式
原理:檢測(cè)被樣品原子核反彈的背散射電子(能量接近入射電子)。
特點(diǎn):
成分襯度:原子序數(shù)(Z)越大,信號(hào)越強(qiáng)(亮度越高)。
分辨率低于SEI,但可區(qū)分不同元素分布。
應(yīng)用場(chǎng)景:材料成分分布、相鑒定、金屬鍍層分析。
3. 吸收電流成像模式
原理:檢測(cè)樣品對(duì)入射電子束的總吸收電流(含二次電子和背散射電子)。
特點(diǎn):
反映樣品密度和厚度差異,對(duì)導(dǎo)電性敏感。
適用于導(dǎo)電樣品或內(nèi)部缺陷檢測(cè)。
應(yīng)用場(chǎng)景:半導(dǎo)體器件缺陷分析、復(fù)合材料界面研究。
4. 特征X射線分析模式
原理:檢測(cè)樣品受激發(fā)產(chǎn)生的特征X射線,通過能量或波長(zhǎng)分析元素種類。
特點(diǎn):
元素成分定量分析(需結(jié)合EDS或WDS探測(cè)器)。
成像與成分分析一體化(面分布或點(diǎn)分析)。
應(yīng)用場(chǎng)景:材料微區(qū)成分分析、污染物鑒定。
5. 其他擴(kuò)展模式
陰極發(fā)光模式:檢測(cè)電子束激發(fā)的可見光/紅外光,用于礦物、半導(dǎo)體材料分析。
電子通道花樣:分析晶體取向和缺陷。
環(huán)境掃描模式:允許樣品室通入氣體或保持低壓,觀察含水/非導(dǎo)電樣品。
總結(jié)
SEM掃描電鏡的核心工作模式以信號(hào)類型劃分,主要包括二次電子、背散射電子、吸收電流和X射線分析。其他模式(如陰極發(fā)光、ESEM)屬于功能擴(kuò)展。選擇模式時(shí)需結(jié)合樣品性質(zhì)(導(dǎo)電性、成分、環(huán)境要求)和分析目標(biāo)(形貌、成分、晶體結(jié)構(gòu))。
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