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SEM掃描電鏡樣品制備之樣品導電導熱性能要好

日期:2023-07-14 10:20:23 瀏覽次數:80

樣品導電導熱性能要好。掃描電鏡聚焦成像時,電子束直接照射樣品表面,如果樣品材料不導電會產生荷電效應(也稱充電效應)。負電荷電子局部積累,抑制入射電子和出射信號,引起圖像變形和位移,無法進行聚焦。

 臺式掃描電鏡ZEM15.jpg

解決方案:

針對不導電樣品,可以采用噴鍍碳或金屬以提高材料的導電、導熱性能,同時還能增強樣品信號發出量。在樣品表面噴鍍導電膜,對能譜檢測結果有所影響,針對有些無法噴鍍的樣品,可采用低真空模式觀察樣品以緩解荷電效應。